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中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

更(geng)新時間:2021-12-27

簡要描述:

我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

產品主要特點

1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。

2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定(ding)。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院微電(dian)子研究所 KW-4A型臺式勻(yun)膠機/旋涂儀/涂膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型(xing)。 

產品主要特點(dian) 

1、開(kai)關電(dian)流調(diao)速,穩(wen)定性能更好,轉速調(diao)節以(yi)數字顯示(shi)為準。 

2、轉速在500~8000轉/分范圍內(nei)非(fei)常穩定。   

3、采用雙轉(zhuan)(zhuan)速(su)(su)。在啟(qi)動(dong)之后(hou),先以低速(su)(su)運轉(zhuan)(zhuan),使膠(jiao)攤開,然后(hou)自動(dong)轉(zhuan)(zhuan)換到高速(su)(su)運轉(zhuan)(zhuan)。兩種轉(zhuan)(zhuan)速(su)(su)及相應的(de)時間分(fen)別可調,時間分(fen)別控(kong)制(zhi)在1~18秒(miao)和3秒(miao)~1分(fen)鐘。 

4、具有(you)定時功能(neng)。  

5、測速采(cai)用光電(dian)的辦法,產生(sheng)光電(dian)脈沖,由晶體(ti)分頻測速準確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣(qi)路,一個氣(qi)泵可同時(shi)帶幾臺勻(yun)膠(jiao)機工(gong)作,適合流水(shui)線的工(gong)藝,提高(gao)了(le)效(xiao)率。   

7、在(zai)安(an)裝結構上,采取了減振措(cuo)施,保證了在(zai)運(yun)轉時噪音(yin)低(di)。 

性能指標:

參數

指標

調速范圍和勻膠時間

Ⅰ檔調速范圍(wei):500-2000轉(zhuan)/分Ⅰ檔勻膠時間:2-18秒(miao)

Ⅱ檔(dang)調速范(fan)圍:1300-8000轉(zhuan)/分Ⅱ檔(dang)勻(yun)膠時間:3-60秒(miao)

適用

Φ5-Φ100mm硅(gui)片(pian)及(ji)其它材料等勻膠

電機功率

40W

LED數字顯示

轉速(su)穩定度:±1%,膠的均勻性:±3%

真空泵抽氣速率

≥60升/分

儀器尺寸

210×220×160mm

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