更新(xin)時間：2023-11-12
中(zhong)國科(ke)學院微(wei)電(dian)(dian)子研究所(suo)生產的KW-4A/KW-5型(xing)勻膠(jiao)機適應于半導體硅片(pian)，載玻(bo)片(pian)，晶片(pian)，基片(pian)，ITO導電(dian)(dian)玻(bo)璃等工(gong)藝，制版的表(biao)面(mian)涂(tu)覆。該產品具有(you)轉速穩定和啟(qi)動迅速等優點，并能保證半導體材料中(zhong)涂(tu)膠(jiao)厚度的一(yi)致(zhi)性和均勻性。通常配(pei)真空泵(beng)一(yi)起使(shi)用。目前的型(xing)號(hao)有(you)KW-4A型(xing)和KW-5型(xing)。
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 生物產業,電子,航天 |
中國科學院微電(dian)子研究所生產的(de)KW-4A/KW-5型勻(yun)膠機適(shi)應于半導(dao)(dao)體(ti)硅片，載(zai)玻片，晶(jing)片，基片，ITO導(dao)(dao)電(dian)玻璃等工藝(yi)，制(zhi)版的(de)表(biao)面涂覆。該產品具有(you)轉速(su)穩定和(he)啟動(dong)迅(xun)速(su)等優點(dian)，并能保證半導(dao)(dao)體(ti)材料中涂膠厚度的(de)一(yi)致性(xing)和(he)均(jun)勻(yun)性(xing)。通常配真空泵(beng)一(yi)起使用。目前的(de)型號有(you)KW-4A型和(he)KW-5型。
技術參數及要求：變頻調速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
轉速：500-5000 轉/分
轉速穩定性：±1%
旋涂均勻性：±5％
旋涂工藝階段：2 段
旋涂時間：Ⅰ速0~18S；Ⅱ速0~60S
整機尺寸（長寬高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸（長寬高）：425mm×500mm×190mm
電機功率：180W
適應材(cai)料：硅片、玻璃、石英、金(jin)屬(shu)、GaAs、GaN、InP 等各種材(cai)料
